Skytechは、高度な半導体装置の開発における課題を克服し、原子層堆積層(ALD)装置を開発し、ALD薄膜ソリューションの「大量生産」を達成した最初の台湾の装置サプライヤーになりました。 Skytechは、ALD機器が検証され、Epistarによって採用されたことで、Epistarの商用アプリケーションの促進に貢献してきました。導いたテクノロジー。
2002年に設立されたSkytechは、台湾の重要な半導体コンポーネントの主要サプライヤーです。 2017年、同社は半導体デバイス製造の重要な機器の開発への投資を開始しました。 現在、Skytechは、PVDマシン(NexdaTM)、ALDおよび粉末ALDツール(AtomilaTM)、ボンディングシステム(Bondela Bonder)、剥離システム(Catapulta Debonder)、レーザーリフトオフマシン、ウェーハロボットなど、いくつかの自社開発装置を提供しています。 (スキワール)。
SkytechのCEOであるVicLinは、台湾の経済部の支援を受けて、同社がミニ/マイクロLED製造用のALD薄膜ソリューションの完全なセットを開発したと指定しました。 Epistarに提供される機器は、独自の反応キャビティと調整可能な前駆体供給設計を備えています。 製造されたALD薄膜は、優れたコーティングの均一性と再現性、望ましい耐シュートスルー性、高い透過率、および低い前駆体ドーズ量を備えています。
より高度なマイクロLED機器の開発に関して、Linは、マイクロLEDスクリーンは小さな赤、緑、青の細かいピクセルで構成されており、その製造プロセスによって内部の繊細なナノ構造が損傷し、光度が低下する可能性があることを示しました。
この問題を解決するために、Skytechは、マイクロLED製造中の構造的損傷を修復し、光度を製造前のレベルまたはさらに高いレベルに戻すための事前不動態化技術を開発しています。 SkytechはさまざまなLEDサプライヤーと緊密に協力しています。








